الأوزون هو أداة مفيدة للتطهير والتطهير في مختلف الصناعات. ونظرًا للطريقة التي يتم بها حقن غاز الأوزون في مختلف الصناعات، فقد يبقى دائمًا بعض غاز الأوزون الإضافي. يتم استخدام منطقة الأوزون لتدمير الأوزون الزائد الناتج عن الحقن. في هذه العملية، عن طريق رفع درجة الحرارة في نطاق محدد ومتحكم فيه، يتم تحويل الأوزون إلى أكسجين. في الحالات التي يتم فيها حقن الأوزون بكميات كبيرة وداخل الخزانات المغلقة، يمر الأوزون الزائد الناتج عن الحقن المتكون فوق الخزان عبر وحدة تدمير الأوزون ويتعرض لحرارة عالية ومتحكم فيها. تختلف درجة الحرارة هذه حسب حجم الغاز الداخل، وفي بعض النماذج يتم استخدام محفز خاص مع الحرارة. يتحول الأوزون إلى أكسجين بعد المرور عبر وحدة تدمير الأوزون. وبالنظر إلى أن جميع أجزاء الأوزون مع الأوزون والتركيز العالي على اتصال، يجب أن تكون جميع أجزاء الأوزون وأجهزة التحكم مقاومة لارتفاع الأوزون ودرجة الحرارة العالية.